用戶需求：控制水蒸氣的流量

選用設(shè)備：ACU20FD高精度質(zhì)量流量控制器

過(guò)程描述：在蒸汽發(fā)生器內(nèi)注入適量的水并維持 1-SKPa 的絕壓， 使得容器內(nèi)的水氣化溫度低至35-40℃，立為了防止水蒸氣液化，流通

      管道上設(shè)有伴熱50℃。通過(guò)ACU20FD質(zhì)量流量控制器可將水蒸氣控制在0.2-10sccm。

方案優(yōu)點(diǎn)：

   ①  通過(guò)抽真空使水容器內(nèi)保持負(fù)壓（本案例為絕壓 1-5KPa) ，使得水的氣化溫度低至35-40℃，避免了在高溫條件下的流量控制       和測(cè)量，可以讓用戶有更多的產(chǎn)品選擇。

     ②ACU20FD質(zhì)量流量控制器可以在精度更高、 出口壓力更小的情況下，把水蒸汽流量精確控制在0.2-10sccm 的量程范圍內(nèi)。